選型說(shuō)明：

耦合基本要求： 1、精密耦合調(diào)節(jié)臺(tái) 2、帶芯片夾具 3、水平/垂直光纖夾具 4、放置從兩個(gè)方向觀察耦合區(qū) 域的CCD，垂直和水平 5、半自動(dòng) 6、光學(xué)平臺(tái) 7、光源 8、光功率計(jì) 9、UV機(jī) 10、點(diǎn)膠機(jī) 11、探針座

以PLC耦合為例

調(diào)整FA（帶纖、單纖）與CHIP(芯片)之間的相對(duì)位置，使IL最 小（通過(guò)對(duì)光找出最小值），上膠固化使FA與CHIP（芯片）之

間固定

1、安裝物料

光纖陣列與平面波導(dǎo)裝配工藝由裝夾CHIP開始，一旦CHIP和光纖陣列FA被裝好，使用視覺系統(tǒng)將各組件調(diào)整到合適位置，然后進(jìn)行預(yù)裝配工藝。如圖1、2，輸入光纖陣列（輸出光纖陣列同理）需要與平面波導(dǎo)器件做精確的平行定位。使用垂直和平行相機(jī)，所有位置僅用一次調(diào)整，就可實(shí)現(xiàn)平行定位的設(shè)置。夾具的精度將保證在以后的裝配中保持其定位關(guān)系。

圖1                                                   圖2

2、尋找初始光

組件裝夾完成后，通過(guò)校正X,Y和Z方向的偏差來(lái)進(jìn)行的初始光功率耦合，如圖3所示，操作員通過(guò)圖像（水平投影+垂直投影）顯示出的各項(xiàng)偏差，然后手動(dòng)調(diào)整來(lái)補(bǔ)償偏差。

圖3                                                                  圖4

當(dāng)三個(gè)器件完成初始定位，同時(shí)確認(rèn)其在Z軸方向的相對(duì)位置關(guān)系后，這時(shí)需要確認(rèn)輸入光纖陣列和波導(dǎo)器件之間光的耦合對(duì)準(zhǔn)。將物鏡聚焦到波導(dǎo)器件的輸出端面。通過(guò)物鏡及初始光CCD，可以將波導(dǎo)輸出端各通道的近場(chǎng)圖像投射出來(lái)，進(jìn)行適當(dāng)耦合后，圖像會(huì)被投射到顯示器上。 (圖4)

耦合對(duì)準(zhǔn)（水平耦合）

1.安裝物料（如Lensed Fiber ，硅波導(dǎo)芯片）

1. 安裝物料，Lensed Fiber用V槽機(jī)械夾持固定，硅波導(dǎo)芯片用

真空吸附固定

b.在CCD監(jiān)控下，調(diào)整Fiber的位置，使其與硅波導(dǎo)芯片靠近；

先調(diào)整角度再調(diào)整XYZ位置 2.耦合對(duì)準(zhǔn)

a.微調(diào)六軸入射端使光通過(guò)硅波導(dǎo)，并通過(guò)輸出端光功率計(jì)監(jiān) 控，直至有光信號(hào)

b.輸入端不動(dòng)，微調(diào)輸出端XYZ，使得光功率值最佳，再調(diào)整輸 入端，使得光功率最佳，反復(fù)調(diào)整，直至調(diào)節(jié)任意一軸光功率  都會(huì)變差為止，此時(shí)系統(tǒng)處于光功率最佳位置（相對(duì)接近真實(shí)  值）

3.測(cè)試

接上需要測(cè)試的儀器儀表，進(jìn)行測(cè)試和呈現(xiàn)

4、優(yōu)化和點(diǎn)膠

在此過(guò)程中，可以用輸出光纖陣列第一個(gè)通道，延X軸的方向?qū)?nbsp;波導(dǎo)各通道進(jìn)行掃描，以測(cè)量其各通道的光功率，見圖8。

在整個(gè)器件完成光耦合效率優(yōu)化，并對(duì)輸入及輸出光纖陣列進(jìn)行定位后，就可以使用自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng)將各個(gè)器件進(jìn)行粘接。其應(yīng)用圖示請(qǐng)見圖9。

5、照射UV固化

6、下料

松開夾具，取下物料。

圖8                                                                     圖9

駿河精機(jī)案例 核心耦合部分： 六軸調(diào)節(jié)架 兩組CCD觀察系統(tǒng)： 獨(dú)立式多維度觀察系統(tǒng)，每組都有四個(gè)維 度可以調(diào)節(jié)，靈活多變，節(jié)省空間，特別 適合實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用 駿河精機(jī)六軸半自動(dòng)調(diào)整架： 高精度，可靠性好，耐用，設(shè)計(jì)精巧，光 軸重心低，且旋轉(zhuǎn)軸，三個(gè)旋轉(zhuǎn)軸心交叉 于空間一點(diǎn)，可以提高耦合效率 溫控芯片臺(tái)： 將芯片夾具和溫度控制模塊設(shè)計(jì)在一起， 小巧且實(shí)用

控制部分

控制部分為運(yùn)動(dòng)控制器和運(yùn)控控制軟件，運(yùn)動(dòng)控制有三種模式，粗掃光， 爬山和精密爬山，可以設(shè)置步進(jìn)，點(diǎn)動(dòng)，能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)光對(duì)準(zhǔn)（power peak search），相關(guān)軟件爬山， 自動(dòng)搜光，對(duì)光含光功率和光電流兩種軟件，含垂直和水平耦合兩種方式。

定制夾具部分

水平光纖夾具                                                              垂直光纖夾具                                                               光纖陣列夾具

水平光纖夾具：燕尾槽連接，針對(duì)250μm直徑光纖

定制垂直光纖夾具： ±10 °實(shí)現(xiàn)0-20度，連續(xù)可調(diào)

FA夾具/光纖陣列夾具：支持1-7mm寬度FA，支持8度垂直和水平光纖夾持

中間芯片臺(tái)

定制：真空吸附硅基芯片，含快速接頭， 氣管開關(guān)，氣管開關(guān)固定夾具，其他連接 等，固定1-4mm芯片，可以根據(jù)需要定制  XZ θY軸中間調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，13mm，6mm行程， 1微米靈敏度 θZ軸中間調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，360 °  行程，55"/格

含底板

防震臺(tái)

氣浮防震臺(tái)：

1.尺寸：1200*800*800mm，

2.蜂窩式光學(xué)平板：隔絕高頻振動(dòng)

3.氣浮隔振腿：可以隔絕低頻振動(dòng)，帶壓 縮氣泵

平臺(tái)架子：

1.帶輪子，方便移動(dòng)，可以鎖定位置后固 定

2.含鋁型材架子，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定牢靠，且方便 兼容新的設(shè)計(jì)

3.亞克力罩子，防風(fēng)防塵防UV和靜電

4.帶鼠標(biāo)鍵盤架子，方便放置鼠標(biāo)鍵盤， 也可以換成小桌子，放置在右手邊，方便

放置部分物料，鼠標(biāo)鍵盤和零散物品 5.顯示器掛架，萬(wàn)向節(jié)設(shè)計(jì)

6.靜電帶手環(huán)，工業(yè)插排

7.含兩層儀器載物架，負(fù)載50Kg以內(nèi)

觀察系統(tǒng)

獨(dú)立式多維度高性能觀察系統(tǒng)	龍門架高性能觀察系統(tǒng)
0.7-4.5X光學(xué)放大倍數(shù),最大電子放大倍數(shù)270倍,1:7變焦 四維調(diào)節(jié)，行程40mm，含不銹鋼立柱，不銹鋼焊接底板，轉(zhuǎn)接扣，轉(zhuǎn)接板，鏡頭扣等夾具 鏡頭工作距離86mm 200萬(wàn)像素HDMI相機(jī)，C接口，帶十字帶高清顯示器，環(huán)形燈，帶測(cè) 量，拍照，錄像，繪圖等 鏡頭可以實(shí)現(xiàn)0-90 °旋轉(zhuǎn) 注：鏡頭可以根據(jù)客戶現(xiàn)場(chǎng)需求選擇

探針臺(tái)

選型詳細(xì)說(shuō)明

標(biāo)準(zhǔn)型半自動(dòng)光耦合系統(tǒng)，很適合光纖陣列耦合，兼容單纖耦合。特別適合實(shí)驗(yàn)室針對(duì)不同類型芯片的測(cè)試。如下：

案例圖展示

半自動(dòng)耦合臺(tái)，高效率，靈活，適 合于實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)。

可以兼容單邊FA耦合，如：U形波 導(dǎo)耦合

單邊光纖跟LD的耦合，如：COC測(cè) 試

雙邊光纖跟芯片耦合，如：直波導(dǎo) 耦合測(cè)試

雙邊FA耦，如：PLC耦合封裝 透鏡耦合

我們可以通過(guò)定制不同夾具來(lái)分別 匹配大部有源和無(wú)源耦合。手動(dòng)光 耦合系統(tǒng)適用性很好。

右邊是實(shí)戰(zhàn)案例。